產品詳情
質量流量計是半導體制造設備中非常關鍵的零部件。它的工作穩定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為全球范圍內市場占有率超過35%*1的流量計生產商, 長期以來始終如一的為半導體工業提供高質量、多功能的產品?，F在，手攜全新的技術，HORIBA STEC 正在向全球推廣新型的質量流量控制器： Z500系列。
相對于舊有的型號，Z500X 系列實現了全新的突破， 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時, 實現了復合氣體、復合流量的轉換?？蛻艨梢愿鶕瞥绦枰?，輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外，藉由產品材料的技術革新， Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產品的設計要求，為客戶提升產品價值。
高性能的Z500系列流量計，將帶給您更多。全世界正見證著這一即將改變整個半導體工業的新型質量流量計的誕生。
*1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
*2 復合氣體、復合流量功能。
特征
高精度：設定流量值±1.0%.
MFC的線性精度是由多項式近似曲線進行補償的， 此技術保證在各控制范圍內獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度， HORIBA STEC研發了標準的氣體測量系統， 并在大量實驗的基礎上，采集各種制程氣體的校準數據。
高速響應
SEC-Z500X 使用了最新開發的“可更改PID”系統，保證任意兩個設定流量點之間的更改在1秒鐘之內完成在設定不同流量時，PID數據將進行自動的調整，即使在氣體種類和流量范圍變更后，PID數據也能夠自動優化，實現高速響應。
復合氣體、復合流量方案
HORIBA STEC 新產品讓客戶輕松地在現場更改氣體種類和流量成為現實. 我們的 Z500 設置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統拆卸下來。 如此一來，就可以很大程度上減少客戶備品的數量，同時節省了時間和成本。
HORIBA STEC
STEC SMT-3000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SFC-480模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEF-11模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-Z10D模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV2000模擬金屬密封質量流量計
STEC SEC-PV1000模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7440模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7340模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7350模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-7330模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4600模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4500模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-4400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-3400S模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-400模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-300模擬橡膠密封質量流量計
STEC SEC-E40MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC E50MK3低成本質量流量控制器
STEC LF-F/LV-F系列液體微小質量流量計/控制器
STEC SEC-400MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC 500MK3低成本質量流量控制器
STEC SEC-N100數字式質量流量控制器
STEC SEC-Z700熱感傳感器，壓力鈍感質量流量計
STEC SEC-Z500X多范圍/多氣體的數字式質量流量控制器
STEC SEC-8000F/D高溫應用質量流量控制器
STEC SEC-2000高溫的質量流量控制器
STEC SEC-8000高溫應用質量流量控制器
