產品詳情
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項目 |
數據 |
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基本規格 |
機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm） 機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材 機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm） |
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適用對象 |
名稱 規格（mm） 長度（mm） 每批清洗量（預估） 多晶硅芯 Φ7-10 2000-2800 24-26支 橫梁 Φ7-10 300-500 若干 基座料 Φ40-50 250-300 若干 硅芯原料 Φ120-150 2000-2800 1支 |
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選配模塊 |
l 采用純水隔離式或風簾隔離式可選 l 更全面的全自動干燥系統 l 可結合客戶端通訊協定資料存儲、CIM系統、資料分析存儲建立管理 |
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排風系統 |
排風強勁合理設計，為了排風效果達到，排風通道內設有風量導流板，為了方便操作人員及時根據情況調節排風量，操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式排風口再配合機臺視窗上的可調節進氣模塊，從而達到使用效果 |
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機臺特點 |
l 刻蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性 l QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據制程工藝設定 l 更全面的自動干燥系統 l 管路系統、電氣控制系統、伺服電機及絲杠導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產品 l 保修便利，非庫存品工廠內均建立安全庫存品 l 全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小運行平穩，機械臂定位精度高 l 多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲 l 作業區內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業環境及人身安全 l 客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要 |
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機械臂裝置 |
Robot的工藝路徑種類 N種（設備出廠前載入PLC內） 機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向 右進做出或左進右出 |
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制程控制 |
PLC控制方式 |
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操作界面 |
全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏） |
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槽體數量 |
根據制程要求選擇定制 |
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設備制造 |
蘇州尚純半導體設備有限公司 |
